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तकनीकी विशिष्टता
मोड | HCLC-500 |
वैक्यूम चैंबर | |
कोटिंग p> | अर्धपारदर्शी, सोना, ज़ुल्फ़, लाल नीला, हरा, ग्रे, काला, इंद्रधनुषी रंग आदि। | बिजली की आपूर्ति | DC पावर आपूर्ति, एमएफ पावर, विद्युत चाप, बिजली की आपूर्ति, फिलामेंट (बिजली) आपूर्ति, सक्रिय बिजली की आपूर्ति, प्लस बायस बिजली की आपूर्ति |
वैक्यूम चैम्बर संरचना | एर्टिकल सिंगल (साइड फ्रंट) दरवाजा (डबल वॉटर जैकेट प्रकार पानी कूलिंग या सिंक टाइप कूलिंग), पंप सिस्टम पोस्ट स्थिति |
वैक्यूम सिस्टम मजबूत> | आण्विक पंप + प्रत्यक्ष युग्मित रोटरी वेन पंप के लिए अर्ध तेल मुक्त वैक्यूम प्रणाली |
अंतिम निर्वात | 5.0 x 10 -5Pa (नहीं - साफ चैम्बर लोड हो रहा है) |
सब्सट्रेट आयाम | |
हीटिंग सिस्टम | कमरे का तापमान 500 तकº |
कार्य टुकड़ा रोटरी | शीर्ष रोटरी निचला रोटरी +सार्वजनिक रोटेशन और आवृत्ति रूपांतरण चरण-रहित नियंत्रणीय और समायोज्य ,0-20 शिफ्ट/मिनट |
मोटाई दर p> | ≤± (1.5~5.0) % |
दो मल्टी-आर्क, एमएफ ट्विन या फ्लैट लक्ष्य चुना जा सकता है | |
पंपिंग समय td> | नहीं-हवा से 5x 10-2 pa तक लोड हो रहा है <6 मिनट |
वर्क पीस मोशन मोड | 6 axix/8 axix/9 axix सार्वजनिक रोटेशन/आवृत्ति नियंत्रण |
नियंत्रण मोड < /td> | मैन्युअल/स्वचालित ऑल-इन वन मोड, टचिंग स्क्रीन + PLC |
टिप्पणियां | हम ग्राहक के अनुसार वैक्यूम चैम्बर के आयाम को डिजाइन कर सकते हैं मांग |